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发明名称 A METHOD FOR PRODUCING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0104111(B1) 申请公布日期 1989.07.19
申请号 EP19830401777 申请日期 1983.09.13
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 SHIRATO, TAKEHIDE
分类号 H01L21/82;H01L27/092;H01L21/8238;H01L27/118 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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