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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01181457(A) 申请公布日期 1989.07.19
申请号 JP19880002620 申请日期 1988.01.11
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MIENO FUMITAKE
分类号 H01L27/04;H01L21/20;H01L21/822;H01L27/00;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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