发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER DOTIERFLUESSIGKEIT FUER FESTKOERPERBAUELEMENTE
摘要
申请公布号 DD270177(A1) 申请公布日期 1989.07.19
申请号 DD19880313691 申请日期 1988.03.15
申请人 VEB MIKROELEKTRONIK "KARL LIEBKNECHT" STAHNSDORF,DD 发明人 GOTTBEHUET,ANDREAS,DD;LORKOWSKI,HANS-JOACHIM,DD;PFEIFFER,KARL,DD;MOHR,ULRICH,DD;HADAMOVSKY,HANS-FRIEDRICH,DD;HOEHNE,MATTHIAS,DD;LAMM,WILFRIED,DD;SCHULZ,MANFRED,DD
分类号 H01L21/228;(IPC1-7):H01L21/228 主分类号 H01L21/228
代理机构 代理人
主权项
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