发明名称 FORMATION OF THIN FILM FOR CAPACITOR
摘要
申请公布号 JPH01181431(A) 申请公布日期 1989.07.19
申请号 JP19880002886 申请日期 1988.01.08
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ONISHI TERUTO
分类号 H01L21/316;H01L21/314;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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