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发明名称 PLASMA APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0273741(A3) 申请公布日期 1989.07.19
申请号 EP19870311451 申请日期 1987.12.24
申请人 SUMITOMO METAL INDUSTRIES, LTD. 发明人 NAKAMURA, SEIICHI C/O CENTRAL RESEARCH LABORATORY;NAKAYAMA, SATOSHI C/O CENTRAL RESEARCH LABORATORY;INOUE, TAKASHI C/O CENTRAL RESEARCH LABORATORY
分类号 C23C16/511;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32;H05H1/46;C23C16/50 主分类号 C23C16/511
代理机构 代理人
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