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发明名称 VERFAHREN ZUM FOTOLITHOGRAFISCHEN STRUKTURIEREN VON WIDERSTANDSBAHNEN IN HYBRIDSCHALTUNGEN
摘要
申请公布号 DE2512860(A1) 申请公布日期 1976.09.23
申请号 DE19752512860 申请日期 1975.03.24
申请人 BBC AG BROWN,BOVERI & CIE 发明人 BERNER,GIANNI,DR.;NOEL,PHILIPPE,DIPL.-ING.;SCHWERI,LEO
分类号 H01L21/70;H05K1/16;H05K3/06;H05K3/38;(IPC1-7):H01C17/14 主分类号 H01L21/70
代理机构 代理人
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