发明名称 TESTING DEVICE FOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH01180471(A) 申请公布日期 1989.07.18
申请号 JP19880004112 申请日期 1988.01.11
申请人 NEC CORP 发明人 YOSHIZAWA SHIGEYUKI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址