发明名称 ALUMINUM ALLOY WIRING FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01179416(A) 申请公布日期 1989.07.17
申请号 JP19880001342 申请日期 1988.01.08
申请人 RICOH CO LTD 发明人 AKIYAMA ZENICHI
分类号 H01L21/285;C07F5/06;C23C16/12;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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