| 发明名称 |
SCANNING TYPE TUNNEL MICROSCOPIC APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH01178803(A) |
申请公布日期 |
1989.07.17 |
| 申请号 |
JP19880002884 |
申请日期 |
1988.01.08 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NIWA MASAAKI |
| 分类号 |
G01B7/34;G01N23/00;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q60/10;H01J37/244 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
