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发明名称 LIQUID PHASE EPITAXY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01179786(A) 申请公布日期 1989.07.17
申请号 JP19880000975 申请日期 1988.01.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMAMOTO TAMOTSU;ITO MICHIHARU;HIROTA KOJI;YAMAMOTO KOSAKU
分类号 H01L21/368;C30B19/06 主分类号 H01L21/368
代理机构 代理人
主权项
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