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经营范围
发明名称
INSPECTION DEVICE FOR CLEANING PART IN PROCESS UNIT
摘要
申请公布号
JPH01179186(A)
申请公布日期
1989.07.17
申请号
JP19880002761
申请日期
1988.01.09
申请人
MITA IND CO LTD
发明人
SUDA YUICHI;KUBO KEIJI
分类号
G03G21/00
主分类号
G03G21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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