发明名称 INSPECTION DEVICE FOR CLEANING PART IN PROCESS UNIT
摘要
申请公布号 JPH01179186(A) 申请公布日期 1989.07.17
申请号 JP19880002761 申请日期 1988.01.09
申请人 MITA IND CO LTD 发明人 SUDA YUICHI;KUBO KEIJI
分类号 G03G21/00 主分类号 G03G21/00
代理机构 代理人
主权项
地址