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发明名称 APPARATUS FOR PRODUCING SINGLE CRYSTAL BY SIDE PULLING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01179782(A) 申请公布日期 1989.07.17
申请号 JP19880003251 申请日期 1988.01.12
申请人 ASAHI GLASS CO LTD 发明人 SATO MAKOTO;ISHIHARA TOMOYUKI;KITO NOBUHIRO
分类号 C30B11/00;H01L21/18 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
主权项
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