发明名称 PLASMA REACTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01179323(A) 申请公布日期 1989.07.17
申请号 JP19880000353 申请日期 1988.01.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKAMOTO YUKIO;MURAYAMA SEIICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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