| 发明名称 |
FILM FORMATION BY USE OF LASER LIGHT OR INTENSE LIGHT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01179474(A) |
申请公布日期 |
1989.07.17 |
| 申请号 |
JP19880001580 |
申请日期 |
1988.01.06 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI |
| 分类号 |
H01L21/285;C23C14/08;C23C14/34;C30B29/22;H01B13/00;H01L21/363;H01L39/24;H01S3/00 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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