| 发明名称 |
APARATO VAPORIZADOR PARA INTRODUCIR MATERIAL SUMINISTRADOR DE IONES EN UN EQUIPO DE IMPLANTACION DE IONES. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ES1006678(Y) |
申请公布日期 |
1989.07.16 |
| 申请号 |
ES19880001768U |
申请日期 |
1988.05.31 |
| 申请人 |
J.C. SCHUMACHER COMPANY |
发明人 |
C. HOFFMAN GREGORY;A. LOGAN MARK;N. CARMAN JUSTICE |
| 分类号 |
H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30 |
主分类号 |
H01J37/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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