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经营范围
发明名称
WETTING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH01175233(A)
申请公布日期
1989.07.11
申请号
JP19870333143
申请日期
1987.12.29
申请人
NEC CORP
发明人
OGOSHI TAKAYUKI
分类号
H01L21/304;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
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