| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01173629(A) |
申请公布日期 |
1989.07.10 |
| 申请号 |
JP19870330134 |
申请日期 |
1987.12.28 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
SHIRASAKI MASAHIRO;HASEGAWA MICHIHIKO |
| 分类号 |
H01L21/316;H01L21/66;H01L27/00;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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