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发明名称
摘要
申请公布号 JPS53134653(U) 申请公布日期 1978.10.25
申请号 JP19770040015U 申请日期 1977.03.30
申请人 发明人
分类号 C30B25/12;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205;B01J17/32 主分类号 C30B25/12
代理机构 代理人
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