| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN FILM PRESSURE SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01173846(A) |
申请公布日期 |
1989.07.10 |
| 申请号 |
JP19870227340 |
申请日期 |
1987.09.10 |
| 申请人 |
KOMATSU LTD |
发明人 |
KAMAIKE MAKOTO;TACHIKA ATSUSHI;TABATA AKI;INAGAKI HIROSHI;SUZUKI ASATAKE |
| 分类号 |
G01L9/04;C23C16/30;C23C16/50;H01L29/84 |
主分类号 |
G01L9/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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