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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH01173847(A) 申请公布日期 1989.07.10
申请号 JP19870336499 申请日期 1987.12.28
申请人 FUJIKURA LTD 发明人 ITO TATSUYA
分类号 G01L9/04;G01L9/00 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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