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发明名称 SPUTTERING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5479134(A) 申请公布日期 1979.06.23
申请号 JP19770146763 申请日期 1977.12.07
申请人 ITO YUKIO 发明人 YAMADA YOSHIHIRO
分类号 C23C14/20;C23C14/34 主分类号 C23C14/20
代理机构 代理人
主权项
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