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经营范围
发明名称
PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH01171228(A)
申请公布日期
1989.07.06
申请号
JP19870329363
申请日期
1987.12.25
申请人
HITACHI LTD
发明人
YAMAGUCHI TATSUYA;IKEDA KENICHI;TAKEO KAZUHIRO
分类号
H01L21/205;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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