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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01171267(A) 申请公布日期 1989.07.06
申请号 JP19870328286 申请日期 1987.12.26
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MUTO SHUNICHI;INADA TSUGUO
分类号 H01L21/203;H01L21/20;H01L21/331;H01L29/201;H01L29/205;H01L29/68;H01L29/72;H01L29/73;H01L29/88;H01S5/00 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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