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经营范围
发明名称
FLATTENED ETCHING
摘要
申请公布号
JPH01171226(A)
申请公布日期
1989.07.06
申请号
JP19870330913
申请日期
1987.12.25
申请人
ROHM CO LTD
发明人
INAMOTO YOSHIMASA;ICHIHARA ATSUSHI
分类号
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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