| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01170054(A) |
申请公布日期 |
1989.07.05 |
| 申请号 |
JP19870329018 |
申请日期 |
1987.12.25 |
| 申请人 |
YOKOGAWA ELECTRIC CORP |
发明人 |
MIYAJI NOBUO;FUKUHARA SATOSHI |
| 分类号 |
G01L9/04;G01L9/00;H01L21/306;H01L21/3063;H01L29/84 |
主分类号 |
G01L9/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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