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经营范围
发明名称
RELIABILITY TESTING METHOD FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH01170867(A)
申请公布日期
1989.07.05
申请号
JP19870331164
申请日期
1987.12.26
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
YANO SHUICHI
分类号
G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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