发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE PROVIDED WITH SUPERCONDUCTOR LAYER
摘要
申请公布号 JPH01170077(A) 申请公布日期 1989.07.05
申请号 JP19870328492 申请日期 1987.12.25
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 HARADA KEIZO;FUJIMORI NAOHARU;YATSU SHUJI;JODAI TETSUJI
分类号 H01L39/02;C30B29/22;H01B12/06 主分类号 H01L39/02
代理机构 代理人
主权项
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