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经营范围
发明名称
WET TREATING EQUIPMENT FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
JPH01169930(A)
申请公布日期
1989.07.05
申请号
JP19870329112
申请日期
1987.12.24
申请人
NEC YAMAGUCHI LTD
发明人
MORISHIGE TAKAFUMI
分类号
H01L21/304;B08B3/04
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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