| 发明名称 |
APPARATUS FOR PROCESSING SEMICONDUCTOR WAFERS OR THE LIKE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2201547(B) |
申请公布日期 |
1989.07.05 |
| 申请号 |
GB19880003604 |
申请日期 |
1988.02.17 |
| 申请人 |
* ADVANCED SEMICONDUCTOR MATERIALS AMERICA UNITED STATES INC |
发明人 |
GEORGE MARTIN * ENGLE;RICHARD STEPHEN * ROSLER |
| 分类号 |
H01L21/205;B05C13/02;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/673 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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