发明名称 FORMING METHOD FOR ELEMENT ISOLATION REGION IN SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH01169941(A) 申请公布日期 1989.07.05
申请号 JP19870326761 申请日期 1987.12.25
申请人 CITIZEN WATCH CO LTD 发明人 SHIMAZU KATSUHIRO;TOIDA TAKASHI
分类号 H01L21/76;H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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