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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01169948(A)
申请公布日期
1989.07.05
申请号
JP19870329111
申请日期
1987.12.24
申请人
NEC YAMAGUCHI LTD
发明人
MOTOKAWA KAZUMASU
分类号
H01L21/28;H01L21/768
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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