| 发明名称 |
VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR KONTROLLE GESCANNTER IONENSTRAHLEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DD269721(A1) |
申请公布日期 |
1989.07.05 |
| 申请号 |
DD19870311675 |
申请日期 |
1987.12.29 |
| 申请人 |
VEB MIKROELEKTRONIK "KARL MARX" ERFURT,DD |
发明人 |
BACH,KONRAD,DD |
| 分类号 |
C23C14/48;G01R13/20;H01J37/304;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/304 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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