| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01168067(A) |
申请公布日期 |
1989.07.03 |
| 申请号 |
JP19870325841 |
申请日期 |
1987.12.23 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KUBO MINORU;OGURA MOTOTSUGU |
| 分类号 |
H01L29/43;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/337;H01L21/8232;H01L27/06;H01L29/80;H01L29/808 |
主分类号 |
H01L29/43 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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