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发明名称 ALKALINE ETCHING SOLUTION FOR ETCHING SILICON SLICES
摘要
申请公布号 PL147571(B1) 申请公布日期 1989.06.30
申请号 PL19860259888 申请日期 1986.06.05
申请人 发明人
分类号 C23F1/24;(IPC1-7):C23F1/24 主分类号 C23F1/24
代理机构 代理人
主权项
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