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经营范围
发明名称
DEVICE FOR MEASUREMENT OF PHOTOCAPACITANCE
摘要
申请公布号
JPH01166533(A)
申请公布日期
1989.06.30
申请号
JP19870325900
申请日期
1987.12.22
申请人
SEMICONDUCTOR RES FOUND
发明人
NISHIZAWA JUNICHI
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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