发明名称 PROCEDE DE GRAVURE ANISOTROPE D'UN MATERIAU III-V : APPLICATION AU TRAITEMENT DE SURFACE EN VUE D'UNE CROISSANCE EPITAXIALE
摘要
申请公布号 FR2615655(B1) 申请公布日期 1989.06.30
申请号 FR19870007135 申请日期 1987.05.21
申请人 HENRY LOIC;VAUDRY CLAUDE 发明人
分类号 C23F4/00;H01L21/306;H01L33/00;(IPC1-7):H01L21/308;H01L21/205 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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