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发明名称
PROCEDE DE GRAVURE ANISOTROPE D'UN MATERIAU III-V : APPLICATION AU TRAITEMENT DE SURFACE EN VUE D'UNE CROISSANCE EPITAXIALE
摘要
申请公布号
FR2615655(B1)
申请公布日期
1989.06.30
申请号
FR19870007135
申请日期
1987.05.21
申请人
HENRY LOIC;VAUDRY CLAUDE
发明人
分类号
C23F4/00;H01L21/306;H01L33/00;(IPC1-7):H01L21/308;H01L21/205
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
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