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发明名称 FORMATION OF FILM BY REACTIVE SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPH01165768(A) 申请公布日期 1989.06.29
申请号 JP19870324455 申请日期 1987.12.22
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 MORI YOSHIAKI;SAEGUSA HARUO;TOMIOKA TOSHIHIRO
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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