THIN-FILM CONDUCTIVE CIRCUIT AND PROCESS FOR ITS PRODUCTION

摘要

Circuit à film mince en tantale et circuit conducteur à film mince. On produit le circuit à film mince en tantale en formant un circuit à film mince en tantale sur un substrat isolant ou un substrat semi-conducteur via une couche d'adhésion, et en recouvrant partiellement ou totalement la surface dudit circuit en tantale avec au moins un métal sélectionné parmi le palladium, l'or, le platine et le rhodium ou un alliage de ces métaux. On prépare le circuit conducteur à film mince en formant une couche intermédiaire isolante prise en sandwich entre les couches d'adhésion sur la couche de couverture, et en formant un circuit avec au moins un metal sélectionné parmi le tantale, le palladium, l'or, le platine et le rhodium ou un alliage de ces métaux.