BIAS SPUTTERING DEVICE,申请号JP19870322892-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	BIAS SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH01165764(A)	申请公布日期	1989.06.29
申请号	JP19870322892	申请日期	1987.12.22
申请人	HITACHI LTD	发明人	SAKATA MASAO;KOBAYASHI HIDE;SHIMAMURA HIDEAKI;FUJITA MASAHIRO;NAKAMURA HIROSHI
分类号	C23C14/34	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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