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发明名称 FRINGING PART EXPOSURE DEVICE OF WAFER
摘要
申请公布号 JPH01165118(A) 申请公布日期 1989.06.29
申请号 JP19870324848 申请日期 1987.12.21
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 KIYOKAWA SHINJI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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