NOVEL BARBITURIC ACID COMPOUNDS, PHOTORESISTS THEREFROM AND METHOD FOR PREPARATION

摘要

Sont décrits des dérivés d'acide 5-diazobarbiturique choisis parmi ceux ayant la formule (I) dans laquelle R1 et R2 sont des substituants choisis dans le groupe composé d'alkyle comportant 3 à 12C, de cyclohexyle, de benzyle et de groupes d'aralkyle comportant 2 à 6C; et la formule (II) dans laquelle R3 et R4 sont des substituants choisis dans le groupe composé d'alkyle comportant 1 à 12C, de cyclohexyle, de benzyle ou d'autres groupes d'aralkyle comprenant 2 à 6C; R5 est choisi dans le groupe composé d'alkyle comportant 2 à 12C à disubstitution alpha, omega, du méthylène, du dicyclohexyle, ou du dialkylphénylène comportant 1 à 6C. Ces composés assurent une réaction aux DUV (ultraviolets profonds) avec une absorption maximum proche de 260 nm. On chosit les substituants pour qu'ils soient des groupes alkyles non absorbants, permettant le photoblanchiment du sensibilisateur pendant l'exposition. Les sensibilisateurs de la présente invention sont conçus pour fonctionner dans la région des DUV et sont utiles dans la fabrication de dispositifs à semi-conducteurs.