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经营范围
发明名称
PROBER DEVICE FOR WAFER
摘要
申请公布号
JPH01165135(A)
申请公布日期
1989.06.29
申请号
JP19870324403
申请日期
1987.12.22
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
HASHIGAKI HIROSHI
分类号
G01R31/26;H01L21/66;H01L23/00
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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