| 摘要 |
<p>Un capteur d'écoulement massique d'air utilise un mince diaphragme diélectrique (1) de dimensions réduites qui assure une bonne isolation thermique d'éléments (RH) de chauffage à mince pellicule et d'éléments (RS1, RS2, RC1 et RC2) de détection de la température, ce qui permet d'obtenir une sensibilité élevée à l'écoulement et un fonctionnement de l'élément de chauffage à faible courant. Le diaphragme diélectrique est délimité par un rebord (2) en silicium à canal p dopé par un agent d'anti-décapage. Le capteur d'écoulement massique d'air comprend un circuit capteur primaire qui maintient une température différentielle constante entre un élément primaire (RS1) de détection de la température et un élément (RC1) de détection de la température de l'air ambiant. Un circuit capteur asservi comprend une pluralité d'éléments (RS2 et RC2) de détection de la température, surveille des pertes de chaleur dues à l'écoulement d'air sur un endroit particulier du diaphragme (1) et génère un signal de sortie (VOUT) indicatif de l'écoulement d'air qui ne dépend pas de la température de l'air ambiant.</p> |
