| 发明名称 |
SPUTTERING DEVICE FOR FORMING SUPERCONDUCTING THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH01165769(A) |
申请公布日期 |
1989.06.29 |
| 申请号 |
JP19870326040 |
申请日期 |
1987.12.22 |
| 申请人 |
SHIMADZU CORP |
发明人 |
SHINADA MEGUMI;YOSHII MITSUYOSHI |
| 分类号 |
C23C14/34;C01G1/00;C01G3/00;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
