发明名称 FORMATION OF DIFFUSED LAYER
摘要
申请公布号 JPH01165113(A) 申请公布日期 1989.06.29
申请号 JP19870324729 申请日期 1987.12.21
申请人 SEIKO INSTR & ELECTRON LTD 发明人 NONAKA KOUKI
分类号 H01L21/225 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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