发明名称 COATING FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01165762(A) 申请公布日期 1989.06.29
申请号 JP19870323422 申请日期 1987.12.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMAGUCHI SHIZUKA
分类号 C23C14/22;C23C14/06;C23C14/24;C23C16/50 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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