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经营范围
发明名称
ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01165124(A)
申请公布日期
1989.06.29
申请号
JP19870324751
申请日期
1987.12.21
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
NAKAMURA TADAAKI
分类号
C23F1/08;G12B15/02;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F1/08
代理机构
代理人
主权项
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