WAFER PROBING APPARATUS,申请号JP19870324415-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	WAFER PROBING APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH01165968(A)	申请公布日期	1989.06.29
申请号	JP19870324415	申请日期	1987.12.22
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	NAKAJIMA YASUHARU;NOTANI YOSHIHIRO
分类号	G01R1/067;G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66	主分类号	G01R1/067
代理机构		代理人
主权项
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