| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01164790(A) |
申请公布日期 |
1989.06.28 |
| 申请号 |
JP19870321692 |
申请日期 |
1987.12.18 |
| 申请人 |
HITACHI CABLE LTD |
发明人 |
TAKAHASHI YOSHIHARU;SAITO HIROSHI;FUKUMOTO MASASHI |
| 分类号 |
H01L21/18;C30B15/00;C30B15/14 |
主分类号 |
H01L21/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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