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发明名称 FORMATION OF SILICON GERMANIUM AMORPHOUS ALLOY FILM
摘要
申请公布号 JPH01164022(A) 申请公布日期 1989.06.28
申请号 JP19870321267 申请日期 1987.12.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 AZUMA KAZUFUMI;TANAKA MASAHIRO;WATANABE TAKESHI;NAKATANI MITSUO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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